Về mặt cấu trúc, rơle chân không có thể được phân thành hai loại chính:
Cấu trúc loại-ống xả
Đặc điểm nhận dạng của loại này là sự hiện diện của ống xả, đòi hỏi phải sử dụng trạm xả chân không để sơ tán không khí. Cơ cấu dẫn động phần ứng được đặt *bên trong* hệ thống chân không; lực điện từ được tạo ra bởi dòng điện điều khiển chạy qua cuộn dây làm cho phần ứng có bản lề-nằm trong chân không-chuyển động. Chuyển động này dẫn động tiếp điểm di động, từ đó thực hiện thao tác chuyển mạch (mở hoặc đóng).
Cấu trúc kiểu màng-
Đặc điểm chính của thiết kế này là nó không yêu cầu quá trình sơ tán riêng biệt vì môi trường chân không được thiết lập trực tiếp trong lò hàn chân không. Trong cấu hình này, cơ cấu phần ứng được đặt *bên ngoài* buồng chân không và chuyển động của phần ứng được truyền vào bên trong buồng chân không thông qua một màng chắn kín linh hoạt.