Tụ điện chân không là tụ điện sử dụng chân không làm môi trường điện môi. Nó bao gồm các điện cực đồng hình trụ đồng tâm được hàn kín trong một vỏ chân không, với các điện cực được hình thành thông qua quá trình vẽ khuôn-sử dụng dải đồng-không có oxy{3}}có độ dẫn điện cao. Dựa trên vật liệu của vỏ cách điện, các tụ điện này được phân thành hai loại: loại vỏ bọc thủy tinh (bao gồm cả loại vỏ bọc CKB và CKBB) và loại vỏ bọc bằng gốm-(bao gồm cả loại vỏ bọc CKT, CKTB và CKTBS). Chúng được đặc trưng bởi khả năng chịu được điện áp cao (đạt hàng trăm nghìn volt), kích thước nhỏ gọn, tổn thất điện môi thấp, dòng điện định mức cao (với dòng RF đạt đến phạm vi kiloampere) và phạm vi điều chỉnh điện dung rộng (lên tới 150: 1).
Cấu trúc điện cực của tụ điện này được thiết kế để ngăn ngừa phóng hồ quang và phóng điện vầng hào quang, giúp tụ điện phù hợp để hoạt động trong môi trường{0}}cao. Các ứng dụng chính của nó bao gồm các mạch điều chỉnh và ghép nối trong thiết bị phát thanh và truyền thông, hệ thống sản xuất chất bán dẫn, thiết bị sưởi ấm công nghiệp-tần số cao, dụng cụ phân tích và trị liệu y tế cũng như-máy gia tốc hạt năng lượng cao. Các dạng hư hỏng tiềm ẩn bao gồm rò rỉ chân không, vết nứt trên chất cách điện bằng gốm và biến dạng điện cực; các yếu tố góp phần thường liên quan đến căng thẳng cơ học, làm mát không đủ, độ ẩm môi trường và ăn mòn do khí độc hại gây ra. Trong quá trình vận chuyển, phải thực hiện các biện pháp chống sốc-thích hợp; trong quá trình bảo trì, cần kiểm tra cẩn thận tính toàn vẹn của lớp đệm kín và sự hiện diện của sự ăn mòn trên các bộ phận kim loại.